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產(chǎn)品展示
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產(chǎn)品名稱: 日本愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U30H維修
產(chǎn)品時(shí)間: 2023-11-21
產(chǎn)品型號(hào):
產(chǎn)品特點(diǎn): 日本愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U30H維修適用于大型成膜裝置、太空艙等。擁有的排除水蒸汽的性能。

日本愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U30H維修 的詳細(xì)介紹

日本愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U30H維修特點(diǎn)

適用于大型成膜裝置、太空艙等。

擁有的排除水蒸汽的性能。

外形尺寸 (單位:mm)


    日本愛(ài)發(fā)科標(biāo)準(zhǔn)低溫真空泵CRYO-U30H維修標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

    排氣速度(20℃)

    氮?dú)?/span>

    L/s

    28,000

    氫氣

    43,000

    氬氣

    23,000

    70,000

    到達(dá)壓力

    Pa(Torr)

    10-7(10-9)

    大流量

    氬氣

    Pa?L/s(Torr?L/s)

    2.7×103(20)

    氫氣

    7.4×102(5.6)

    排氣容量

    氬氣

    Pa?L(Torr?L)

    7.8×108(5.9×106)

    氫氣

    1.5×107(1.1×105)

    冷卻降下時(shí)間
    (電力循環(huán))

    min(Hz)

    240/200(50/60)

    吸氣口法蘭

    VG-750

    壓縮機(jī)裝置

    C30VR×2

    質(zhì)量

    Kg

    175.0

    *維護(hù)間隔:16,000小時(shí)

    U22H,U30是在貿(mào)易管理法規(guī)定中屬于戰(zhàn)略物資的出口管制品。
    在出日本國(guó)境時(shí)請(qǐng)務(wù)必辦理日本政府的出口許可申請(qǐng)等手續(xù)。

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